超真空干燥箱（极限真空≤10?? mbar）的真空泵配置需满足以下核心要求：
一、真空泵选型组合要求
?1.多级泵组合?
必须采用?罗茨泵+旋片式油泵?串联方案：
罗茨泵负责快速抽取大流量气体（抽速≥100L/s），作为主增压单元?。
旋片油泵作为前级泵提供基础真空（极限真空≤10?3 mbar），支撑罗茨泵高效运行?。
2.?防污染设计?
若处理腐蚀性/挥发性样品（如酸雾、有机溶剂），需选用?全PTFE涂层泵体?的防腐蚀机型，避免阀片腐蚀失效。
非腐蚀性场景可配置常规旋片泵，但需加装?冷阱或过滤装置?防止油蒸气回流污染样品。
二、关键性能参数
1.极限真空；≤10?? mbar；需罗茨泵组实现超高真空环境?。
?2.抽气速率?；≥100L/s（罗茨泵）；容积>100L时需更高抽速。
?3.温度兼容性?；5℃~40℃运行环境；避免低温结冰或高温宕机。
三、安装与操作规范
?1.连接流程?
超真空干燥箱→真空橡胶管→?罗茨泵进气口?→罗茨泵排气口→?旋片泵进气口?，确保全管路密闭?。
2.?防倒吸措施?
停机时?先关真空阀?→?再关罗茨泵?→?最后关旋片泵?，防止泵油倒灌?。
箱内需加装?隔阻网?，避免粉末样品吸入泵体?。
?3.维护要求?
旋片泵需定期?更换专用真空泵油?（建议500小时/次）?。
长期停用需排空泵油并清洗油路。
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